電容sensormicrosense,LLC,以前稱為幕墻技術(shù),由三個主要業(yè)務(wù)–精密電容式傳感器、振動樣品磁強計和磁光克爾效應(yīng)(MOKE)的國家的最先進的磁測量和晶圓測量系統(tǒng)的工具。直到公司被出售,在2009年11月,我們是KLA-Tencor公司的子公司,全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測和測量工具。微觀意義上是主機行業(yè)包括半導(dǎo)體設(shè)備、數(shù)據(jù)存儲、機床、太陽能、汽車和高亮度LED。微觀意義提供了客戶價值和安全性,通過廣泛的商業(yè)經(jīng)驗、資金實力、全球支持和技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)。 利用電容傳感器進行高分辨率測量 由Robert C. Abbe創(chuàng)立于1967,我們的電容傳感器業(yè)務(wù)最初是ADE公司的一部分。艾德公司是以其遠見和新穎的方法分辨率高,要求尺寸測量應(yīng)用的非接觸式測量。隨著時間的推移,ADE逐漸成為世界領(lǐng)先的裸半導(dǎo)體晶圓測量工具供應(yīng)商。高分辨率電容式傳感器的位置和位移測量(也被稱為“蓋片”)就等同于“門面”和我們的商標名稱,“微觀意義”。 微觀意義提供了電容式傳感器和OEM計量模塊,基于專利的電容式感應(yīng)技術(shù),使非常精確,高帶寬的測量,如太陽能硅片、精密產(chǎn)品的藍寶石晶片、硬盤驅(qū)動馬達,空氣軸承主軸,精密X-Y階段、光盤、汽車部件、機床。我們的電容式位移傳感器提供了業(yè)界最高的分辨率,不到0.05納米,卓越的穩(wěn)定性和幾乎無限的使用壽命。 磁力測量獲獎工具 微觀意義上的磁計量業(yè)務(wù)起步的數(shù)字測量系統(tǒng)(DMS)在25年前,并持續(xù)為ADE技術(shù)的一部分自1997。 我們在磁性測量的世界級專家團隊,微觀意義上是一種高靈敏度振動樣品磁強計進行磁性測量的領(lǐng)先供應(yīng)商。我們的振動樣品磁強計有幾種模式具有多種功能,領(lǐng)域范圍,分辨率和選項。我們的VSM系統(tǒng)用于在世界學(xué)術(shù)界和商業(yè)界最有聲望的磁學(xué)實驗室進行基礎(chǔ)磁學(xué)研究。還提供了一系列在線生產(chǎn)磁性計量工具,以滿足當今快速發(fā)展的硬盤存儲系統(tǒng)的嚴格要求。2012、微觀意義上推出了世界上第一臺300毫米準備非接觸磁特性的測量工具(圖右)MRAM晶片的開發(fā)和制造。 晶圓尺寸測量的創(chuàng)新工具 藍寶石晶圓微觀意義表征提供了高靈敏度的測量工具、碳化硅和各種類型的半導(dǎo)體晶片。微觀意義上獲得西格瑪科技,公司坦佩,亞利桑那州2012年6月。通過此次收購,微觀意義上說領(lǐng)先的晶圓檢測工具對其創(chuàng)新的計量解決方案組合。西格瑪科技系統(tǒng)整合多種傳感技術(shù)如光學(xué)法、干涉法和西格瑪科技專利的自動定位背壓(APBP)技術(shù)。