精密電容傳感器-型號6810 打破納米分辨率屏障-實現(xiàn)亞納米分辨率快速響應-高達100千赫帶寬! 該型號6810高分辨率電容傳感器提供最先進的位置和位移測量性能。6810是專為高速旋轉或振蕩的目標,如精密硬盤驅動器主軸電機,精密空氣軸承主軸和機械軸承機床主軸的高動態(tài)測量。應用包括控制如軸向和徑向NRRO(非重復運行或異步誤差運動)需要解決1至2 nm RMS或更好。 目標表面光潔度或反射率對測量性能沒有影響。 完全非接觸式設計 亞納米測量分辨率的先進低噪聲設計 高測量帶寬- 1千赫,5千赫,20千赫和100千赫可選擇的。 目前的5810型用戶可以立即提高測量性能。6810個是電兼容的“下降”更換用戶誰希望升級現(xiàn)有的5810個系統(tǒng)-沒有設計變更是必需的。